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生產車間氣體濃度檢測儀系統方案
深圳市東日瀛能科技有限公司
2022.07.18
一、方案概述
在化工生產過程中不可避免的存在著烷類，醇類，苯,甲苯,二甲苯,丁酮,乙炔等等各種易燃易爆、有毒有害的氣體，這些氣體一旦泄露或積聚在周圍環境中，將可能引起火災、爆炸或人身中毒等惡性事故。為了保證生產和人身安全，應設置可靠的可燃氣體和有毒氣體檢測報警器，連續監控控制環境中可燃和有毒氣體的濃度情況，及時發出報警。本檢測報警系統就是為了實現對生產車間、倉庫等處的有易燃易爆、毒有害氣體進行實時濃度監測與報警實現和集中統一管理；需要一套可靠的氣體檢測報警系統。
系統主要功能包括：
（1） 實時監測生產車間、倉庫等處附近可燃氣體和有毒氣體的含量，達到一定濃度時實時報警。
（2） 通過上位機系統監控中心實時觀看油庫的現場情況。
（3） 在監控中心實時記錄以上各監測數據，對數據統一集中管理。
（4） 并能通過聲光報警、語音報警、LED屏幕顯示等多種方式發出報警信息，及時告知維護管理責任人。
二、執行標準
GB3836.1-2010《爆炸性氣體環境用電氣設備 第一部分：通用要求》
GB3836.2-2010《爆炸性氣體環境用電氣設備 第二部分：隔爆型“d” 》
GB 3836.15-2000 《爆炸性氣體環境用電氣設備第 15 部分：危險場所電氣安裝( 煤礦除外) 》
GBT50493-2019 《石油化工可燃氣體和有毒氣體檢測報警設計標準》
GB12358-2006 《作業場所環境氣體檢測報警儀通用技術要求》
GBZ 2.1-2007 《工作場所有害因素職業接觸限值》
GB 4208-2008 《外殼防護等級（IP 代碼）》
三、方案介紹與設計
3.1 檢測點的定位
首先通過對產車間、倉庫等處的細致分析，初步確定設置氣體探測器的最佳位置或必要設置點。具體到某個裝置時可做更具體的分析，根據可能泄露的部位,確定可燃體探測器布置的最佳位置或必要設置點，從而保證泄漏的易燃易爆與有毒有害氣體充分擴散到檢測器附近，使泄漏險情及時被探知。
3.2 氣體探頭的選擇
針對化工常見實際環境與自然條件，選用催化燃燒/電化學/紅外NDIR/熱導/PID光離子等原理的氣體探測器。
四、產品參數：
| 產品名稱 | TVOC濃度檢測儀 | |
| 型號代碼 | SK/MIC-600-TVOC-Y | |
| 外殼材質 | 鋁合金 | |
| 輸出信號 | ①4-20mA信號：標準的12位精度4-20mA輸出芯片，傳輸距離1Km ②RS485信號：采用標準MODBUS RTU協議，傳輸距離1Km ③電壓信號：0.4-2V,0-5V、0-10V輸出，選配（電壓輸出與電流輸出二選一） ④開關量信號：標配1組無源觸點繼電器，容量220VAC 3A/24VDC 3A | 可選配GPRS、4G、WIFI、LORA、ZigBee等無線信號 |
| 接收設備 | 用戶電腦、控制報警器、PLC、DCS、DDC等 | |
| 工作方式 | 擴散式（默認） 管道式（M45*1.5 螺紋口）可選（管道式的工作壓力為大氣壓±10KPa，超出范圍需降壓處理） 流通式（一進一出氣嘴，接φ6氣管）可選 | |
| 檢測介質 | 有機揮發物 | |
| 檢測原理 | PID光離子（進口） | |
| 檢測范圍 | 0-100ppm（量程可定制，可參考9-13頁氣體選型表） | |
| 分 辨 率 | 0.1ppm（根據量程而定） | |
| 檢測誤差 | ≤±3%F.S（全量程內≤3%）更高精度可訂制 | |
| 重 復 性 | ≤±1% | |
| 線性誤差 | ≤±1% | |
| 響應時間（T90） | T90≤30S（不同氣體響應時間不同，可參考常用氣體選型表） | |
| 工作電壓 | DC24V（12V～30V） | |
| 工作溫度 | -20℃~50℃ 特殊要求：（-40℃～+70℃） | |
| 工作濕度 | 10-95%RH（無冷凝） | |
| 工作壓力 | 91～111Kpa（大氣101kpa±10%） | |
| 傳感器壽命 | 2～3年（根據使用的環境而定） | |
| 防爆形式 | 探頭變送器及傳感器均為隔爆型。 | |
| 防爆等級 | E xdIICT6 | |
| 防護等級 | IP66 防水濺和短時間雨淋，長時間雨淋需選配防雨罩或選擇不帶顯示的外殼 | |
| 連接電纜 | ①4～20mA 選三芯屏蔽電纜，RS485 選四芯，距離超 1000 米（帶一臺檢測儀）時單根線徑≥1.5mm， 屏蔽層接大地。 ②無線傳輸：可內置LORA、Zigbeg模塊，近距離無線傳輸；可外置GPRS/4G模塊，遠程數據傳輸到云平臺，可電腦端和手機端查看歷史記錄，不受距離限制（選配）
| |
| 報警方式 | 現場聲光報警、外置報警器、遠程控制器報警、電腦數據采集軟件報警等 | |
| 報警設置 | 標準配置兩級報警，可選三級報警；可設置報警方式：常規高低報警、區間控制報警 | |
| 外形尺寸 | 220*205*97（L*W*H） | |
| 電氣接口 | 默認 M20X1.5 內螺紋，配3/4NPT轉接頭 | |
| 計 量 證 | 可選，費用客戶自付 | |
| 附 件 | 包裝箱、說明書、合格證、出貨單各一份 | |
| 產品名稱 | 主機控制器 | ||
| 型 號 | SK-6500-NY | ||
| 顯示內容 | 氣體名稱、量程單位、實測值、時間、報警狀態、歷史數據等 | ||
| 測量單位 | ppm、ppb、%LEL、%VOL、mg/m3、mg/L、g/m3、ug/m3、%rh、℃、MPa、KPa、Pa等 | ||
| 輸入電源 | AC220V | 功 耗 | 小于 7W |
| 輸出電源 | DC24V/2A | 安裝模式 | 壁掛式 |
| 響應時間 | ≤30S | 報警設定 | 4 種模式自由設定 |
| 接收信號 | 4-20MA、RS485（標準 ModbusRTU 協議） | 報警模式 | 蜂鳴器報警 |
| 工作溫度 | -20～50℃ | 工作濕度 | 0～95%RH 無凝露 |
| 存 儲 （選配） | U盤存儲歷史數據：格式為CSV，單個文件可存儲100萬條記錄，存滿單個文件后自動新建下一個文件； U盤存儲報警記錄：格式為CSV，單個文件可存儲100萬條記錄，存滿單個文件后自動新建下一個文件。 | ||
| 輸出觸點 | 默認4個常開觸點，觸點容量30V/3A或250V/3A，繼電器模塊可擴展輸出觸點可交叉配置 | ||
| 尺 寸 | 330*270*115mm（長*寬*高），采用向左開門結構。 | ||
五、外形尺寸：
六、直視單元面板：
七、內部結構:
八、安裝位置：
注意事項：
1）要充分考慮氣體比重問題；
2）安裝位置離泄漏源越近越好；
3）開放區域每一探頭的檢測范圍為 60 平方米，同時還要考慮氣體擴散、風向、溫度、濕度及區域封閉性等因素。安裝時還應考慮防塵防水和防高溫等保護措施；
4）詳細請咨詢東日瀛能銷售人員。
九、電氣接線定義圖：
東日瀛能可燃氣體檢測報警器量程參照法規：
關于有毒有害氣體接觸限值與其濃度多少時對人體的危害等相關問題，請咨詢東日瀛能銷售人員。
常用氣體選型表
| 檢測氣體 | 量程 | 允許誤差值 | 最小讀數 | 響應時間T90 |
| 可 燃氣(E X) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
| 可 燃氣(E X) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.1%Vol | ≤10秒 |
| 甲 烷(C H4) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
| 甲 烷(C H4) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.1%Vol | ≤10秒 |
| 氧 氣(O 2) | 0-30%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤10秒 |
| 氧 氣(O 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤10秒 |
| 氧 氣(O 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 氮 氣(N 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤10秒 |
| 一氧 化碳(C O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤25秒 |
| 一氧 化碳(C O) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤25秒 |
| 一氧 化碳(C O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤25秒 |
| 一氧 化碳(C O) | 0-20000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤25秒 |
| 一氧 化碳(C O) | 0-100000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤25秒 |
| 二氧 化碳(C O 2) | 0-500ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤20秒 |
| 二氧 化碳(C O 2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤20秒 |
| 二氧 化碳(C O 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤20秒 |
| 二氧 化碳(C O 2) | 0-50000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化碳(C O 2) | 0-20%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤30秒 |
| 二氧 化碳(C O 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤30秒 |
| 甲 醛(CH 2O) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 甲 醛(CH 2O) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 甲 醛(CH 2O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 甲 醛(CH 2O) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤45秒 |
| 臭 氧(O 3) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤20秒 |
| 臭 氧(O 3) | 0-5ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤20秒 |
| 臭 氧(O 3) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤20秒 |
| 臭 氧(O 3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤20秒 |
| 臭 氧(O 3) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 臭 氧(O 3) | 0-30000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 臭 氧(O 3) | 0-20mg/L | ＜±3%(F.S) | 0.01mg/L | ≤30秒 |
| 臭 氧水(O 3) | 0-20mg/L | ＜±3%(F.S) | 0.01mg/L | ≤30秒 |
| 硫化 氫(H 2S) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 硫化 氫(H 2S) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 硫化 氫(H 2S) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 硫化 氫(H 2S) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 硫化 氫(H 2S) | 0-10000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤45秒 |
| 二氧 化硫(SO 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化硫(SO 2) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化硫(SO 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化硫(SO 2) | 0-500ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化硫(SO 2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化硫(SO 2) | 0-10000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 一氧 化氮(N O) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 一氧 化氮(N O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 一氧 化氮(N O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 一氧 化氮(N O) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化氮(N O 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤25秒 |
| 二氧 化氮(N O 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤25秒 |
| 二氧 化氮(N O 2) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化氮(N O 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化氮(N O 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 氮氧 化物(N OX) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氮氧 化物(N OX) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 氮氧 化物(N OX) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 氯 氣(CL 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 氯 氣(CL 2) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氯 氣(CL 2) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 氯 氣(CL 2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 氨 氣(N H3) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氨 氣(N H3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氨 氣(N H3) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 氨 氣(N H3) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 氨 氣(N H3) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
| 氫 氣(H 2) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
| 氫 氣(H 2) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 氫 氣(H 2) | 0-20000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 氫 氣(H 2) | 0-40000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 氫 氣(H 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
| 氦 氣(H e) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
| 氬 氣(A r) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
| 氙 氣(X e) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
| 氰化 氫(H CN) | 0-30ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氰化 氫(H CN) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氯化 氫(H CL) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氯化 氫(H CL) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 磷化 氫(P H3) | 0-5 ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 磷化 氫(P H3) | 0-25 ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 磷化 氫(P H3) | 0-2000 ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化氯(CLO 2) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化氯(CLO 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 二氧 化氯(CLO 2) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 環氧 乙烷(ET O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 環氧 乙烷(ET O) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 環氧 乙烷(ET O) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 1%LEL | ≤30秒 |
| 光 氣(C OCL 2) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤20秒 |
| 光 氣(C OCL 2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤20秒 |
| 硅 烷(Si H4) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 硅 烷(Si H4) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氟 氣(F 2) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 氟 氣(F 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氟 氣(F 2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氟化 氫(H F) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 氟化 氫(H F) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 溴化 氫(HB r) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| (B2 H6) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 砷化 氫(As H3) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 砷化 氫(As H3) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 砷化 氫(As H3) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 鍺 烷(Ge H4) | 0-2ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 鍺 烷(Ge H4) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 聯 氨(N 2 H4) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 聯 氨(N 2 H4) | 0-300ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 四氫 噻吩(TH T) | 0-100mg/m3 | ＜±3%(F.S) | 0.01 mg/m3 | ≤60秒 |
| 溴 氣(B r2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
| 溴 氣(B r2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 溴 氣(B r2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 乙 炔(C2H 2) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤30秒 |
| 乙 炔(C2H 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 乙 炔(C2H 2) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 乙 烯(C2 H4) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤30秒 |
| 乙 烯(C2 H4) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 乙 烯(C2 H4) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 乙 醛（C2 H4O） | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 乙 醇(C2 H6O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 乙 醇(C2 H6O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 甲 醇(C H6O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 甲 醇(C H6O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 二硫 化碳(C S2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 二硫 化碳(C S2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 丙烯 腈(C3 H3N) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 丙烯 腈(C3 H3N) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 甲 胺(C H5N) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 典 氣(I 2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 苯乙 烯(C8 H8) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
| 苯乙 烯(C8 H8) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 氯乙 烯(C2H3 CL) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 三氯 乙烯(C2H CL3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 四氯 乙烯(C2 CL4) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 笑 氣(N 2O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 三氟 化氮(N F3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 過氧 化氫(H 2O 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-30000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-200g/m3 | ＜±3%(F.S) | 0.1g/m3 | ≤30秒 |
| 硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| 硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| 硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-10000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
| C6 H6 | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| C6 H6 | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
| C6 H6 | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
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